中微半导体设备（上海）有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司（英文：Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China），简称：中微公司，^[1]成立于2004年5月31日^[3]，上海科技创业投资集团成员，注册地址位于上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号，^[4]是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。^[3]法定代表人为尹志尧，中微公司于2019年7月22日在上海证券交易所科创板挂牌上市，发行价29.01元/股，股票代码为688012，是科创板首批25家上市公司之一。

中微半导体设备（上海）有限公司是一家以中国为基地面向全球的微观加工高端设备公司，致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司研发了多款具自主知识产权的芯片设备，并在全球范围内申请了1200余项专利。^[5]中微公司基于在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术，跨足半导体芯片前端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他微观制程的高端设备领域，瞄准世界科技前沿，坚持自主创新,服务遍布中国大陆和台湾、新加坡、韩国、德国、意大利等国家和地区的客户。^[6]

2004年8月，公司在张江高科技园区启动运营。2007年6月，公司首台CCP刻蚀设备产品研制成功；2010年6月，首台TSV/MEMS/Dicing刻蚀设备研制成功并运往客户；2011年9月，中微45纳米介质刻蚀设备也研制成功。2012年 10月，中微公司二期新厂房22000平方米落成启用；同年11月推出首台MOCVD设备。^[7]2015年，中微公司以全球领先技术打破美国对中国等离子体刻蚀设备的出口管制，同年7月，该公司反应台交付量突破400台。^[8]2017年7月，中微公司首台双反应台ICP刻蚀设备产品研制成功。^[7]2020年7月，该公司还发布用于深紫外LED量产的MOCVD设备PrismoHiT3R。^[9]2021年5月，中微公司成功研制出3nm蚀刻机。同年8月，中微公司开发出小于5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工。^[10]9月，中微半导体设备（上海）有限公司获得第四届中国质量奖提名奖。^[11]10月25日，中微公司宣布其全球第500台MOCVD设备顺利付运。^[12]中微公司入选2021年（第28批）新认定国家企业技术中心^[13]。2022年8月，入选《2022中国品牌500强》榜单，位列347位。^[14]2024年11月，中微公司入围《2024福布斯中国创新力企业50强》榜单。2025年，该公司在数字经济企业TOP500榜单中排名170位。^[15]

2004年9月10日，公司住所从上海市张江高科技园区郭守敬路351号1号楼625室变更为上海市张江高科技园区牛顿路200号1号楼6楼A、B室。11月2日，企业类型从非公司外商投资企业(外商合资)变更为有限责任公司(中外合作)、法定代表人从AIHUA CHEN变更为尹志尧、注册资本(金)从2000.0000万美元变更为2605.0000万美元。^[2]2015年12月25日开始，企业类型先后变更为从有限责任公司(中外合作)、有限责任公司(外国法人独资)、有限责任公司(中外合资)、股份有限公司(中外合资、未上市)、股份有限公司(中外合资、上市)。^[2]

2018年年初，中微半导体公司获悉，美方涉嫌侵犯中微公司专利权的设备即将从上海浦东国际机场进口，随即向上海海关提出扣留侵权嫌疑货物的申请。上海海关及时启动知识产权海关保护程序，在进口环节开展行政执法，根据权利人申请，暂停涉嫌侵权设备的通关，这批设备货值达3400万元。^[16]

随着海关介入执法，美方开始正视中微公司的自主研发专利及其在中国的知识产权状况，主动与中微公司展开谈判，双方最终达成全球范围相互授权的和解协议。^[16]

2021年5月8日消息，中微公司成功研制出3nm蚀刻机，且完成了原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估，并已进入量产阶段。7月2日晚，中微公司披露发行情况报告书，最终以每股102.29元的价格发行8022.93万股，合计募得资金82.07亿元。^[17]8月，中微半导体设备（上海）有限公司已开发出小于5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工。^[10]10月25日，中微半导体设备（上海）股份有限公司宣布其MOCVD设备系列喜迎又一里程碑：全球第500台MOCVD设备顺利付运国内领先的LED外延片和芯片研发生产制造商。^[12]

2024年12月27日，中微公司公告称，其董事长、总经理尹志尧和嘉兴众阖企业管理合伙企业（有限合伙）拟以增资750万元的方式投资中微公司的控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司，其中尹志尧增资250万元，增资完成后，中微公司持股51%，尹志尧持股5%。^[18]

2026年1月8日，半导体龙头中微公司（688012）公告称，巽鑫（上海）投资有限公司持有公司6847.39万股股份，占总股本的10.94%，计划自公告披露之日起15个交易日后的3个月内，通过集中竞价或大宗交易方式减持不超过1252.29万股，即不超过公司总股本的2%，减持原因为自身经营管理需要。被誉为“中国刻蚀机之父”的中微公司创始人、董事长、总经理尹志尧计划自公告披露之日起15个交易日后的3个月内，通过集中竞价方式减持公司股份不超过29万股，占公司总股本比例不超过0.046%。减持原因为：其已从外籍恢复为中国籍，为依法办理相关税务所需。^[19]中微半导体设备（上海）股份有限公司华中总部于7月28日完成武汉子公司注册，8月正式落户光谷存算双创园。该项目聚焦核心半导体设备研发，计划2027年初正式投入运营。^[20]

姓名职位尹志尧董事长、首席执行官朱新萍资深副总裁、全球事业总部陈伟文资深副总裁、首席财务官丛海副总裁、等离子刻蚀产品总部及EPI产品部总经理陶珩集团副总裁、CVD产品部总经理刘晓宇集团副总裁、董事会秘书陈志邦集团副总裁姜银鑫集团副总裁、总法律顾问杜志游执行副总裁、首席运营官倪图强资深副总裁、新事业部总经理杨伟集团副总裁麦仕义执行顾问吴乾英集团副总裁李天笑集团副总裁、芯汇康总经理K Η ΚΟΗ集团副总裁、东南亚及欧洲地区总经理Matt Ruby集团副总裁、首席法务官陈罡华集团副总裁刘身健集团副总裁、新事业部副总经理程宁集团副总裁、中国一区总经理郭世平集团副总裁、MOCVD产品部总经理张宜东副总裁、中微惠创总经理Susan Overstreet副总裁、中微北美公司总裁KI Yoon副总裁、韩国地区总经理Naohiko Mori日本地区总经理

以上参考：^[21]

股东名称股份类型持股数量(股)持股比例上海创业投资有限公司流通A股96,383,53315.59%巽xùn鑫(上海)投资有限公司流通A股87,155,90214.1%

以上参考：^[2]

被投资企业被投资企业法定代表人/负责人成立日期投资占比认缴金额状态超微半导体设备（上海）有限公司^[22]尹志尧2024年11月22日60%^[注1]2550万元^[注1]开业中微半导体设备（广州）有限公司尹志尧 2023年8月23日100%1,000万(元)开业苏州索雷尔科技有限公司WILSON WEICHENG LIN 2022年12月2日5.327869%9.6万(元)开业浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司贺贤汉 2021年11月2日4%10,000万(元)开业广州华芯盛景创业投资中心（有限合伙）珠海华芯量子咨询管理企业（有限合伙）2021年10月28日2.345972%5,000万(元)开业芯汇康医疗器械（上海）有限公司GERALD ZHEYAO YIN 2021年9月18日100%1,000万(元)开业无锡正海缘宇创业投资合伙企业（有限合伙）上海正海资产管理有限公司2021年9月15日98%9,800万(元)开业中微科技投资管理（上海）有限公司YIN GERALD ZHEYAO2021年1月12日100%30,000万(元)开业深圳市芯视佳半导体科技有限公司曹绪文 2020年9月25日3.010674%148.7万(元)开业中微半导体（上海）有限公司尹志尧（YIN,GERALD ZHEYAO）2020年6月12日100%100,000万(元)开业南京数字光芯科技有限公司孙雷 2019年6月10日20.302035%6.2万(元)开业中微汇链科技（上海）有限公司GERALD ZHEYAO YIN2018年8月10日80%800万(元)开业深圳市志橙半导体材料股份有限公司朱佰喜2017年12月26日--开业南昌中微半导体设备有限公司GERALD ZHEYAO YIN 2017年12月15日100%2,500万(元)开业杭州中欣晶圆半导体股份有限公司贺贤汉2017年9月28日2.564103%12,903.2万(元)开业昂坤视觉（北京）科技有限公司马铁中2017年2月9日3.387645%38.1万(元)开业上海洪朴信息科技有限公司许剑锋2016年8月29日21.44069%214.4万(元)开业中微半导体设备（厦门）有限公司尹志尧2015年12月11日100%2,000万(元)开业中微惠创科技（上海）有限公司尹志尧2014年12月27日100%1,650万(元)开业上海芯元基半导体科技有限公司郝茂盛2014年10月24日10.016209%67.6万(元)开业理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司孙曦东 2013年5月21日4.200642%987.7万(元)开业新美光（苏州）半导体科技有限公司夏秋良2013年1月22日2.513544%23.8万(元)开业山东天岳先进科技股份有限公司宗艳民2010年11月2日0.99059%383.1万(元)开业成都超纯应用材料有限责任公司柴杰2005年8月25日4.699691%62.9万(元)开业睿励科学仪器（上海）有限公司FENG YANG（杨峰）2005年6月27日36.489896%23,084.9万(元)开业杭州博日科技股份有限公司贺贤汉2002年6月28日6.495598%859.4万(元)开业

以上参考：^[2]

中微半导体设备（上海）股份有限公司北京分公司为中微半导体设备（上海）股份有限公司的下属分公司，于2020年8月正式挂牌成立，其前身是2014年成立的中微北京Site。北京分公司现有团队成员15人，主要为半导体芯片前端制造、先进封装、LED生产、MEMS制造以及其他微观制程领域提供先进的等离子体刻蚀设备及其成套工艺。其经营范围包括销售半导体设备和零件以及为所销售产品提供维修、售后服务、技术支持等。^[23]

中微半导体（上海）有限公司杭州分公司为中微半导体（上海）有限公司的下属分公司，于2022年5月正式成立，其经营范围包括销售半导体设备和零件，软件开发，数据处理，智能家庭设备消费设备销售，第一类医疗器械销售，第二类医疗器械销售，信息咨询服务等。^[24]

研发、组装的集成电路设备及泛半导体设备主要包括薄膜沉积设备（如低压化学气相沉积设备LPCVD、原子层沉积设备ALD等）、其他微观加工设备及环保设备，同时涉及配套设备和零配件的生产，并销售自产产品。提供技术咨询、技术服务。^[2]

设备类型相关设备刻蚀设备Primo D-RIEPrimo AD-RIEPrimo SSC AD-RIEPrimo iDEAPrimo HD-RIEPrimo TSVPrimo nanovaPrimo Twin-StarMOCVD设备Prismo D-BLUEPrismo A7Prismo HiT3Prismo UniMax薄膜设备Preforma UniflexTM CW环保设备VOC净化设备

以上参考：^[25]

中微公司专注于研发干法刻蚀（等离子体刻蚀）设备，用于在晶圆上加工微观结构。干法刻蚀通过等离子释放带正电的离子来撞击晶圆以去除（刻蚀）材料。根据所要去除材料和加工器件结构的不同，可分为电介质刻蚀、导体刻蚀和硅通孔刻蚀。其中，CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电感性低能等离子体刻蚀机组成的双台机已经证明可覆盖60%以上的刻蚀应用需求。^[26][27]

中微公司在MOCVD领域有非常深厚的技术积累。公司于2013年发布了第一代MOCVD设备 Prismo D-BLUE®，由于其较高的灵活性和生产效率、优异的性能以及简便易行的设备维护，中微的MOCVD设备获得了客户的认可和信任。2016年，中微发布了其第二代MOCVD设备 PRISMO A7®。在 Prismo D-BLUE的基础上，PRISMO A7®增加了一些新的特征，以进一步提升生产效率和加工性能。该设备已应用于国内众多领先的LED生产线。^[28]

中微公司的MOCVD（金属有机化学气相沉积）设备持续领跑全球市场，其具有自主知识产权的Prismo HiT3®，是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备。^[29]在不到三年的时间里，中微已经在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场形成了领先地位，占据氮化镓基LED照明设备80%以上份额。自推出Prismo A7以来，公司持续丰富产品线并推进升级迭代，在MiniLED等氮化镓基设备领域市场占有率处于前列，同时加速拓展碳化硅功率器件、Micro-LED等新兴领域。^[28]

作为中微公司自主研发的产出效率高且性能优秀的12英寸CVD金属钨设备，Preforma Uniflex™CW可灵活配置多达五个双反应台的反应腔，每个反应腔皆能同时加工两片晶圆，在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时，实现较高的生产效率。Preforma Uniflex™CW配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案,自主设计优化的分气抽气系统和真空卡盘，具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性，对于弯曲度较大的晶圆，它也具备良好的工艺处理能力。并且其优异的阶梯覆盖率和填充能力，可以满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。^[30]

凭借在使用了复杂化学物和气体的高端工艺设备领域的专业知识，中微在自主研发空气过滤产品方面具有独特的优势，该产品符合严格的空气质量标准。中微旗下子公司中微惠创利用分子筛的吸附原理的化学反应器，在国内率先开发制造了工业用大型VOC 净化设备。^[25]

2020年4月17日，中微公司披露2019年年度报告，期内公司实现营业收入19.47亿元，同比增长18.77%；归属于上市公司股东的净利润1.89亿元，同比大增107.51%。2023年，中微公司刻蚀设备新增订单价值69.5亿元，同比增长60%。^[31]2024年前三季度（1-9月），中微公司营业收入为55.07亿元，同比增长约36.27%。其中刻蚀设备收入44.13亿元，同比增长约53.77%。公司2024年前三季度(1-9月)新增订单76.4亿元，同比增长约52.0%。其中刻蚀设备新增订单62.5亿元，同比增长约54.7%；新产品LPCVD新增订单单3.0亿元，开始启动放量。^[32]截至2024年12月27日，中微公司股价197.35元，市值1228.23亿元。^[18]2025年4月17日，中微半导体设备（上海）股份有限公司发布2024年年度报告。报告期内，公司实现营业收入约90.65亿元，同比增长约44.73%；归属于上市公司股东的扣非净利润约13.88亿元，同比增长约16.51%。^[29]2025年上半年，中微公司营业收入约为49.61亿元，同比增长约43.88%；核心产品刻蚀设备收入占公司总收入比例超过75%，同期新签订单同比增速达40%。2025年第三季度，公司单季研发投入为10.31亿元，同比增长79.93%，占当季营业收入的33.25%。^[33][34]2025年前三季度，公司实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40%；实现归属于上市公司股东净利润12.11亿元，同比增长32.66%。^[19]2025年，中微公司实现营收约123.8亿元，经营业绩创历史新高。^[20]

以上参考：^[6]

坚持绿色发展，进一步完善治理架构，明确绿色发展目标，加强绿色智能创新，运用先进厂务管理系统打造智能工厂，建设智能化仓库。我们注重节能降碳，启动屋顶光伏计划，使用清洁能源替代，建设绿色建筑，做好水土保持，持续推进上海生产基地开展节能节水新项目开展，并取得显著成效。积极贯彻落实绿色运营理念，做好生产和生活过程中产生的废气、废水、固体废弃物处理处置，尽可能减少公司生产运营对环境和社会的不利影响。^[35]

通过不断探索实践，积极应对气候变化，助力国家“双碳”目标实现。在南昌高科园区建设的约14 万平米的生产和研发基地已基本建成完工，部分生产洁净室于2022年7月投入试生产；在上海临港的约18万平方米的生产和研发基地主体建设已完成，2023年将部分投入使用；上海临港滴水湖畔约10万平方米的研发中心暨总部大楼也在顺利建设。^[35]

中微公司全力构建科学高效的供应链治理体系，慎重选择零部件供应商并进行严格考核，与全球约300 家供应商建立了稳定合作关系，不断完善供应商管理体系，明确各环节职责分工，规范合作流程，^[36]加强供应链环境和社会风险管理，协助供应商提升ESG 管理能力，积极采取相关措施提升供应链韧性，保持供应商多元化，凭借自主技术创新优势，加强本土产业链培育，持续为公司产品和服务水平的持续提升提供稳定保障。^[35]

中微公司明确员工发展战略，致力于为全体员工创造安全、满意的工作环境，以保障员工基本权益为核心，建立并不断健全多元的人才引进体系和职业发展体系。通过扁平的薪酬制度、有效的奖励机制和独特的全员持股的社会主义集体所有制，使员工把自己的近期利益和长远利益与公司的持续发展紧密结合起来。秉承民主集中管理原则，秉持“以人为本”的人才理念，尊重员工追求美好生活的原动力，通过构建特色化民主集中型决策管理机制，由董事会、管理层“领导小组”、中高领导层团队与基层员工协同参与，以确保决策科学性与执行效能，多维绩效评价以及扁平的薪酬制度，最大化员工自身能量与积极性，形成合作共赢的发展局面。^[35]

2022年公司新组建了涵盖球类、有氧、文娱、艺术等四大类共计15个员工俱乐部，来自公司不同部门的18 位俱乐部会长及副会长组建了“会长之家”，累计组织了200 余次活动，将兴趣相投的中微人组织在一起，既愉悦了身心，又增进了团队凝聚力。^[35]

2022年10月，上海集成电路第五期“大师讲堂”顺利举行。“大师讲堂”是上海培育积极活跃的集成电路生态圈的重要活动，每期讲堂均邀请海内外领军企业负责人、业内知名专家学者。中微公司董事长尹志尧先生在讲堂现场做了精彩的专题演讲，并参加了“上海集成电路紧缺人才（临港）产教基地”启动仪式，上海市集成电路行业协会等各主流媒体平台同步进行了线上直播。^[37]

2021年6月，中微公司与中国科学技术大学（中科大）签署共建“中微半导体集成电路英才班”合作协议，充分利用中科大的科研优势和中微公司的企业环境，共同建设该英才班。2022年向中科大捐助60万元人民币，通过校企合作，共同培养未来集成电路产业精英人才。^[35]

2022年12月，中微公司与上海交通大学（上海交大）教育发展基金会签订捐赠协议设立“中微- 未来基金”，并在2022年向该基金捐赠100万元人民币，用以支持上海交大博渊未来技术学院的初创和发展。同时，为推动校企合作，双方共同设立了社会实践基地，将为在校学生提供半导体行业前沿的技术指导和实践锻炼平台，促进理论知识到专业实践能力的转化。未来，双方将以产学研的合作模式在技术开发、人才培养等方面进一步探索科研教育与产业发展的结合。^[35]2024年12月13日，南昌大学举办中微公司捐赠仪式。根据本次捐赠协议，中微半导体设备（上海）股份有限公司向南昌大学教育发展基金会捐赠500万元，用于支持南昌大学拔尖创新人才培养和际銮书院实验班建设，助力南昌大学教育事业高质量发展。^[38][39]

以公益敬老为初心，中微公司自2020年起，与上海市老年基金会建立合作，作为社会力量积极加入上海老龄事业的发展。2022年，中微延续了上一年的公益慈善模式，共同推出“关爱上海市特困老人公益项目”，为居住在浦东新区的特困老人家庭（主要为因病致贫老人）提供资金支持和生活上的帮助。在这一年中，共有41名公司志愿者参与进来，和基金会的工作人员一起在春节、中秋节分两次走访慰问了共计84位特困老人，定向帮扶特困老人家庭65 户，提供现金及慰问品共计84.56万元人民币。2022年底，中微与上海市老年基金会签订协议展开进一步的合作，已为2023年的项目预捐赠约165万元，并将于2023年起把帮扶对象扩大到整个上海地区，让更多的困难老人从中受益。2025年1月，中微公司向上海市老年基金会黄浦代表处捐赠了500套“暖心宝”，这台理疗仪将帮助有需要的老人改善腰膝酸痛等情况。^[35]

中微公司始终将质量管控工作摆在关键性位置，建立质量管控体系，打造质量管理系统，多措并举不断强化质量管控。做到设计、生产、出库，全流程、全方位的产品质量管控，为客户提供性能稳定、质量可靠的优质产品。为满足半导体行业严苛的质量要求，中微公司始终秉承“质量和持续改进根植于中微公司的每一个方面，及每个人每分钟的工作中”的质量方针，总结质量管理经验，建立了“三全、三重保险、三个满意”的质量管理模式，以“全方位、全过程、全员参与”（三全）为基础，将“三重保险”实践方法贯穿于产品开发、供应商管理、生产制造、客户服务等所有环节，最终实现客户和供应商满意、产业和市场满意、社会和国家满意的“三个满意”。^[35]

2018年年初，美方涉嫌侵犯中微公司专利权的设备。随着海关介入执法，美方主动与中微公司展开谈判，双方最终达成全球范围相互授权的和解协议。2018年年初，中微半导体公司获悉，美方涉嫌侵犯中微公司专利权的设备即将从上海浦东国际机场进口，随即向上海海关提出扣留侵权嫌疑货物的申请。上海海关及时启动知识产权海关保护程序，在进口环节开展行政执法，根据权利人申请，暂停涉嫌侵权设备的通关，这批设备货值达3400万元。 随着海关介入执法，美方开始正视中微公司的自主研发专利及其在中国的知识产权状况，主动与中微公司展开谈判，双方最终达成全球范围相互授权的和解协议。2023年，中微公司在针对美商科林研发股份公司（Lam Research Corporation）提起的侵犯商业秘密案中赢得二审胜诉。^[60]

2021年1月14日（美国东部时间），中微公司被美国国防部列入中国共产党军事企业清单。经中微公司向美国国防部申诉后，同年6月3日（美国时间）中微公司成功地被移除此清单。2024年1月31日（美国东部时间），美国国防部根据《2021财年国防授权法》第1260H条的要求，发布更新版本的直接或间接在美运营的中国军事企业（Chinese Military Companies，以下简称“CMC清单”）名单，中微公司再次被列入该清单。^[61]中微公司表示美国国防部将中微公司列入CMC清单的决定是错误的，不符合事实，没有法律依据，且违背了程序正当。自被列入CMC清单以来，中微公司竭尽所能积极地同美国国防部进行沟通、澄清事实，提供了充分的证据证明其不符合CMC清单的认定标准，并要求其将中微公司从CMC清单中移除，然而，截至正式起诉之日，仍未如愿。2024年8月16日，中微公司宣布，已向美国法院正式提交诉状，起诉美国国防部将其列入CMC清单的错误决定，请求法院要求美国国防部撤销该决定，以消除误解，维护中微公司合法权益，并保障中微公司股东、客户及合作伙伴的利益。^[62]当地时间2024年12月17日，美国国防部宣布已于12月13日将中微公司和IDG资本从CMC清单（又称1260H清单）中移除。^[63]

2022年，中微公司年报中明确标注尹志尧为美国公民；其2023年年报未披露其国籍信息；直至2024年其年报正式确认尹志尧已恢复中国国籍。2026年1月8日，中微公司发布公告称，尹志尧计划通过集中竞价方式减持公司股份。公告显示，尹志尧拟减持股份的原因是其已从外籍恢复为中国籍，为依法办理相关税务所需。^[64][19]