五氟化砷

五氟fú化砷shēn是一种由砷元素和氟元素形成的无机化合物，化学式为AsF5，其中砷元素的氧化态为+5。它是一种有毒的无色气体，可用于离子移植和某些六氟砷酸盐的合成。高纯度的五氟化砷可通过氟化三氧化二砷制得，也可用于微电子工业中的砷离子注入剂。根据世界卫生组织国际癌症研究机构的致癌物清单，砷和无机砷化合物被列为1类致癌物。

arsenic pentafluoride

分子式：  AsF5

性质：无色气体。密度7.71g/cm3。熔点-80℃。沸点-53℃。液体密度2.33g/ml(-52.8℃)。溶于冷水，溶于碱、醇、醚、苯。当与石墨反应时，生成AsF5-石墨中间化合物，其导电率较高。由氟与三氟化砷或砷反应制得。作氟化剂用在离子移植中。可用于某些六氟砷酸盐的合成。高纯品用三氧化二砷直接氟化可制得，在微电子工业中用作砷离子注入剂。