深圳中科飞测科技股份有限公司

2014年成立的股份有限公司

深圳中科飞测科技股份有限公司

深圳中科飞测科技股份有限公司（Shenzhen Nanolighting Technology Co., Ltd.），成立于2014年12月31日，位于广东省深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。[0][2][3]2014年12月31日，中科飞测成立。2018年，中科飞测承担科技部"国家科技重大专项02专项"。次年，全系列设备进入国内集成电路前道和先进封装市场。[4]2022年，其5大产品系列累计批量销售超过300台[5]。同年6月16日，科创板上市委公告，深圳中科飞测科技股份有限公司首发获通过。[6] 2024年1月12日，中科飞测发布2023年业绩预告，其全年收入预计为8.5-9亿元，同比增加66.9%，减少76.7%；扣非净利润预计为0.25-0.45亿元，同比大幅扭亏为盈，维持“增持”投资评级[7]。

深圳中科飞测科技股份有限公司（Shenzhen Nanolighting Technology Co., Ltd.），成立于2014年12月31日，位于广东省深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。[1][3][4]

2014年12月31日，中科飞测成立。2018年，中科飞测承担科技部"国家科技重大专项02专项"。次年，全系列设备进入国内集成电路前道和先进封装市场。[5]2022年，其5大产品系列累计批量销售超过300台[6]。同年6月16日，科创板上市委公告，深圳中科飞测科技股份有限公司首发获通过。[7] 2024年1月12日，中科飞测发布2023年业绩预告，其全年收入预计为8.5-9亿元，同比增加66.9%，减少76.7%；扣非净利润预计为0.25-0.45亿元，同比大幅扭亏为盈，维持“增持”投资评级[8]。

2020年，获得第三届"IC创新奖"技术创新奖[5]。次年，成为中国集成电路质量控制设备领头企业。[6]2022年，获得成为国家级专精特新"小巨人"企业[5]。2023年5月19日，中科飞测发行的人民币普通股股票在上海证券交易所科创板上市[9][10]。

历史沿革

2014年12月31日，中科飞测成立。2016年，第一台无图形晶圆缺陷检测设备进入国内头部客户产线验证。次年，中科飞测的产品进入国内第一大先进封装厂。2018年，其承担科技部"国家科技重大专项02专项"。次年，全系列设备进入国内集成电路前道和先进封装市场。2020年，中飞测为国内领先集成电路芯片厂商批量出货集成电路质量控制设备。同年12月更名为深圳中科飞测科技股份有限公司。次年，成为中国集成电路质量控制设备领头企业。[6]

2022年，5大产品系列累计批量销售超过300台[6]。2022年6月9日，科创板上市委员会定于2022年6月16日上午9时召开2022年第49次上市委员会审议会议，届时将审议深圳中科飞测科技股份有限公司的首发事项[11]。6月16日，科创板上市委公告，深圳中科飞测科技股份有限公司首发获通过。[7]

2023年2月21日，证监会同意深圳中科飞测科技股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的注册申请[12][13]。5月10日，中科飞测新股申购[14]。5月19日，中科飞测发行的人民币普通股股票在上海证券交易所科创板上市，股票代码为688361[15][9][10]。12月28日，中科飞测收到人民币5694万元的政府补助款，其中与收益相关的政府补助5374万元，与资产相关的政府补助320万元[16]。

2024年1月12日，中科飞测发布2023年业绩预告，全年收入预计为8.5-9亿元，同比增加66.9%，减少76.7%；扣非净利润预计为0.25-0.45亿元，同比大幅扭亏为盈，维持“增持”投资评级[8]。

主要人员

序号姓名性别年龄学历职务薪酬持股数本届任期公告日期1陈鲁男47博士董事长、董事、总经理232.7万-2020-12-29至2027-01-032024-01-062哈承姝女47博士董事287.8万1664万2019-08-16至2027-01-032024-01-053周凡女女39本科董事、财务总监134.2万-2020-12-29至2027-01-032024-01-064陈克复男82本科董事--2014-12-31至2027-01-032024-01-055刘臻男42硕士董事--2018-11-01至2027-01-032024-01-056王新路男37博士独立董事8.000万-2020-12-29至2027-01-032024-01-057孙坚女63本科独立董事8.000万-2020-12-29至2027-01-032024-01-058古凯男男31硕士董事、董事会秘书46.85万-2024-01-04至2027-01-032024-01-069徐文海男37博士独立董事--2024-01-04至2027-01-032024-01-0510陈彬女40本科监事会主席31.72万-2020-12-29至2027-01-032024-01-0611银玉婵女35硕士监事--2024-01-04至2027-01-032024-01-0512苏怡女28本科监事--2024-01-04至2027-01-032024-01-05上述资料：[1]（此数据截至2024年1月13日）

股东信息

序号股东名称股份类型持股数持股变化占总股本比例增减情况1苏州翌流明光电科技有限公司受限流通股3780.10万股不变11.81%不变2国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）受限流通股3646.59万股不变11.40%不变3深圳小纳光实验室投资企业（有限合伙）受限流通股1885.59万股不变5.89%不变4哈承姝受限流通股1664.39万股不变5.20%不变5北京芯动能投资基金（有限合伙）受限流通股1538.28万股不变4.81%不变6深圳市岭南晟业有限公司受限流通股1456.44万股不变4.55%不变7深圳市前海博林股权投资基金有限公司受限流通股1333.45万股不变4.17%不变8中国科学院微电子研究所受限流通股1160.41万股不变3.63%不变9上海物联网二期创业投资基金合伙企业（有限合伙）受限流通股1022.68万股不变3.20%不变10深圳市创新投资集团有限公司受限流通股978.99万股不变3.06%不变上述资料：[1]（此数据截至2024年1月13日）

对外投资

序号被投资企业名称法定代表人/执行事务合伙人成立日期投资数额投资比例经营状态1深圳前海中科飞测科技有限公司陈鲁2017-09-20500万元100%开业（存续）2中科飞测厦门中科飞测科技有限公司哈承姝2019-03-14200万元100%存续（在营、开业、在册）3中科飞测北京中科飞测科技有限公司哈承姝2020-07-16200万人民币100%存续（在营、开业、在册）4中科飞测广州中科飞测科技有限公司陈鲁2021-03-0913000万元100%在营（开业）企业5中科飞测上海中科飞测半导体科技有限公司陈鲁2021-08-261000万元100%存续（在营、开业、在册）6中科飞测珠海中科飞测科技有限公司哈承姝2021-12-211000万元100%在营（开业）企业7中科飞测成都中科飞测科技有限公司哈承姝2022-06-02500万元100%存续（在营、开业、在册）8中科飞测武汉中科飞测半导体科技有限公司哈承姝2022-07-20500万元100%存续（在营、开业、在册）9中科飞测青岛中科飞测科技有限公司陈鲁2023-09-26200万元100%在营（开业）企业10中科飞测天津中科飞测科技有限公司陈鲁2023-10-20200万元100%存续（在营、开业、在册）上述资料：[1]（此数据截至2024年1月13日）

经营范围

一般经营项目是：研发、设计、销售、上门安装、调试、测试、光电自动化设备、机电自动化设备、光电仪器、光电设备、电子产品、机械产品、计算机及软件、工业自动控制系统、图像及数据处理系统，并提供上述商品的售后维护；并提供相关技术咨询、技术维护、技术转让：从事货物及技术的进出口业务；自有物业租赁。（法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外，限制的项目须取得许可后方可经营），许可经营项目是：自动化设备及仪器、电子产品和机械产品的加工和配件制造。[1]

主要产品

产品系列分类产品介绍
设备系列无图形晶圆缺陷检测
设备[17]		该系列设备为自动化的无图形晶圆表面缺陷检测设备，提供先进的缺陷计数、空间分布和缺陷分类功能，检测表面类型覆盖Bare, Oxide, Nitride, Metal等。设备使用激光以多角度照明至晶圆表面，并通过样品台的多维运动实现全样品表面的快速扫描，综合分析缺陷图像，可检测出缺陷的具体类型和尺度
图形晶圆缺陷检测
设备[18]		该系列设备主要应用于晶圆表面亚微米量级的二维、三维图形缺陷检测，能够实现在图形电路上的全类型缺陷检测。拥有多模式明/暗照明系统、多种放大倍率镜头，适应不同检测精度需求，能够实现高速自动对焦，可适用于面型变化较大翘曲晶圆。适用于集成电路前道和先进封装领域
套刻精度量测设备[19]该系列设备主要应用于集成电路光刻工艺套刻误差测量，通过将数据建模并反馈给光刻机以帮助光刻机优化不同层之间的光刻图案对齐误差，最终达到提高套刻对准精度的目的
三维形貌量测设备[20]该系列设备主要应用于晶圆表面的纳米级三维形貌测量、双/多层薄膜厚度测量、关键尺寸和偏移量测量，配合图形晶圆智能化特征识别和流程控制、晶圆传片和数据通讯等自动化平台。主要应用在集成电路前道及先进封装领域
介质薄膜膜厚量测
设备[21]		该系列设备主要应用于晶圆纳米级的单/多层膜、金属膜的膜厚测量，采用椭圆偏振技术和光谱反射技术实现高精度薄膜膜厚、n-k值的快速测量。主要应用在集成电路前道领域
软件系列良率管理系统[22]良率管理系统软件IVY-DMS/YMS，是分析检测、量测等良率相关数据的必要工具，运用统计分析和机器学习方法，以及定制化的工作流，绘制丰富的良率报表，为工程师提供有力的决策支持。IVY能及时发现产线异常状态，协助PIE、YE、PE、AOI分析产线良率下降的原因，从而有效地提升半导体制造良率和产品性能
半导体缺陷自动
检测系统[23]		Al大模型驱动零漏检节省80%以上人力，宏观•微观•明场•暗场缺陷检测分类•覆盖前道与先进封
上述资料：[24]

企业文化

企业文化内容
企业使命成为全球制造业高质量发展的质量服务的第一选择
企业价值观贡献、本质、客户、诚实
上述资料：[5]

奖项荣誉

时间荣誉
2025年2月26日2024新经济企业TOP500第284位[25]
2025年2月25日2024胡润中国500强第414位[26]
2024年2023新经济企业TOP500榜单发布，深圳中科飞测科技股份有限公司排名第420位[27]
2022年国家级专精特新"小巨人"企业
2021年第四届"IC创新奖"技术创新奖
2020年第三届"IC创新奖"技术创新奖
上述资料：[5]

其他荣誉

时间荣誉2023年集成电路质量控制关键技术与设备工程技术研究中心2020年深圳市龙华区先进光学检测工程中心2018年广东省博士工作站上述资料：[5]

参考资料 27

  1. 深圳中科飞测科技股份有限公司 — 天眼查
  2. 深圳中科飞测科技股份有限公司 — 爱企查
  3. 深圳中科飞测科技股份有限公司 — 企查查
  4. 飞测 — 中科飞测
  5. 飞测 — 中科飞测
  6. 飞测 — 中科飞测
  7. 科创板上市委：中科飞测首发获通过 — 百家号
  8. 中科飞测:23Q4收入同环比稳健增长，套刻精度和金属膜厚量测新品持续起量(招商证券研报) — 每经网
  9. 中科飞测(688361.SH)于5月19日在科创板上市 — 百家号
  10. 中科飞测:公司股票将于5月19日在科创板IPO上市，发行价格23.6元/股 — 界面新闻
  11. 中科飞测6月16日科创板首发上会 1实控人为美国国籍 — 中国经济网
  12. 证监会同意三家企业科创板IPO注册 — 百家号
  13. 中科飞测、南芯科技、日联科技科创板IPO注册申请获证监会同意 — 界面新闻
  14. A股申购｜中科飞测(688361.SH)开启申购 公司产品已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线 — 百家号
  15. 每周股票复盘:中科飞测(688361)定增获证监会注册批复 — 中金在线
  16. 中科飞测：获得政府补助5694万元 — 百家号
  17. 无图形晶圆缺陷检测 设备 — 中科飞测
  18. 图形晶圆缺陷检测 设备 — 中科飞测
  19. 套刻精度量测设备 — 中科飞测
  20. 三维形貌量测设备 — 中科飞测
  21. 介质薄膜膜厚量测 设备 — 中科飞测
  22. 良率管理系统DMS/YMS — 中科飞测
  23. 半导体缺陷自动检测系统 — 中科飞测
  24. 设备系列 — 中科飞测
  25. 中国企业评价协会连续第五年发布“新经济企业TOP500”榜单 — 中国工业新闻网
  26. 2024胡润中国500强出炉，福建多家企业上榜！ — 今日头条
  27. 品牌榜|2023新经济企业TOP500榜单出炉 — 搜狐网
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