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浙江晶盛机电股份有限公司（英文名：Zhejiang Jingsheng Mechanical & Electrical Co., Ltd.，简称：晶盛机电），是一家以半导体材料装备、化合物半导体衬底材料制造为主业的高新技术企业。公司成立于2006年12月14日，注册地址为浙江省绍兴市上虞区通江西路218号，股票代码为00316.SZ。董事长、法定代表人为曹建伟。[1][2]
2007月4月，晶盛机电研发出中国首台“全自动单晶硅生长炉”，打破了单晶硅生长炉设备长期被国外企业垄断的产业格局；次年3月，研制出当时中国规格最大的“全自动直拉式单晶硅生长炉”，结束了中国多年以来向他国进口12英寸大规格单晶硅生长炉设备的历史。[3]2009年至2011年间，晶盛机电陆续研制出应用水冷夹套技术的“TDR95A-ZJS型单晶硅生长炉”、“多晶硅铸锭炉”、“全自动单晶硅生长炉”等设备。[4]2012年，晶盛机电在深圳证券交易所创业板上市。[5]2014年3月，晶盛机电推出“全自动半熔高效多晶铸锭炉”和“基于CFZ技术的高效单晶生长设备”。[6]2018年，晶盛机电成功研发出首台“碳化硅单晶炉”，并进入材料的研发和生产阶段；同年8月，推出了第一颗“8英寸N型碳化硅晶体”，突破了第三代半导体代表材料“卡脖子”技术。[7]2021年12月，晶盛机电与银川经开区签约年产40万片碳化硅半导体材料项目。[8]2023年6月，晶盛机电旗下“8-12英寸大硅片设备”基本实现国产化并批量交付；[9]同年11月，晶盛机电开始布局碳化硅赛道。[7]经多年发展，晶盛机电业务涉及半导体、光伏设备领域以及半导体材料细分领域的蓝宝石材料和碳化硅材料等。旗下拥有国家级博士后科研工作站、国家企业技术中心、浙江省半导体设备企业研究院等研究平台。公司内部建立了4个研发中心，其中包括1个海外研发中心，10个专业研究所和2个专业实验室。[2]
2022年，晶盛机电营业总收入为106.38亿人民币，同比增长78.45%；净利润为30.78亿人民币，同比增长78.09%。[10]2021年9月，晶盛机电入选"2020年度绍兴市企业研发投入十强"名单。[11]2022年5月，被《互联网周刊》评为2022光伏企业发展力TOP30。[12]2023年1月13日，位列《2022胡润中国500强》第117位。[13]2023年3月30日，位列《2022中国新经济企业500强榜单》第80名。[14]2023年12月，入选浙江省第一批雄鹰企业。[15]
发展历程
2006年12月14日，浙江晶盛机电股份有限公司（简称：晶盛机电）正式创立。[1]次年4月，晶盛机电研发出中国首台全自动单晶硅生长炉，并销售给中国半导体材料供应商有研半导体材料股份有限公司，打破了单晶硅生长炉设备长期被国外大型企业垄断的产业格局。2008年3月，晶盛机电研制出当时中国规格最大的全自动直拉式单晶硅生长炉，结束了中国多年以来向他国进口12英寸大规格单晶硅生长炉设备的历史。[3]
2009年，晶盛机电研制出应用水冷夹套技术的TDR95A-ZJS型单晶硅生长炉，并凭借该产品，成为英利能源（中国）有限公司2010年度唯一的中国本土单晶硅生长设备供应商。2010年1月，晶盛机电成功研制出配置双电源独立控制系统的多晶硅铸锭炉（JSH480型），该产品在全球范围内首次采用了顶部加热与四周加热的双电源独立控制技术。次年，晶盛机电陆续研制出JSH600型多晶硅铸锭炉、前开门式连续加料的全自动单晶硅生长炉、JSH800型气致冷多晶硅铸锭炉等设备。[4]
2012年，晶盛机电在深圳证券交易所创业板上市，股票代码为00316.SZ，[5]2014年3月，晶盛机电在上海召开了新产品发布会，推出了推出了型号为JSH800-HF的“全自动半熔高效多晶铸锭炉”和“基于CFZ技术的高效单晶生长设备”。其中JSH800-HF实现了中国首次高效多晶硅铸锭工艺的全自动控制。[6]2017年，晶盛机电开始碳化硅晶体生长设备和工艺研发，随后于2018年成功研发出首台碳化硅单晶炉，并进入材料的研发和生产阶段。8月，晶盛机电推出了第一颗8英寸N型碳化硅晶体，突破了第三代半导体代表材料“卡脖子”技术。自此，晶盛机电的第三代半导体材料碳化硅研发迈入8英寸时代。[7]2020年9月，晶盛机电获2019年浙江省人民政府质量管理创新奖。[16]次年，入选2021福布斯中国最具创新力企业50强。[17]2021年12月，晶盛机电与银川经开区达成合作，签约了年产40万片碳化硅半导体材料项目。[8]
2022年，在《互联网周刊》杂志发布“2022光伏企业发展力TOP30”，晶盛机电排名第19位。[12]2023年2月，晶盛机电推出6英寸双片式外延设备。[7]同年6月，浙江晶盛机电股份有限公司和西部超导材料科技股份有限公司达成战略合作，双方将加强和巩固各自领域的技术优势和竞争力，加快超导磁场产能供给。[18]此外，晶盛机电的8-12英寸大硅片设备已基本实现国产化并批量交付，同时该公司开始布局12英寸减薄及外延（常压外延、减压外延）等设备。此外，公司还开发了应用于芯片制造的ALD设备等薄膜沉积类设备，以及应用于先进封装的减薄抛光机等设备。[9]11月，晶盛机电“年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目”正式启动，开始布局碳化硅赛道。[7]12月，晶盛机电与埃斯顿达成战略合作，开始推进海外业务的发展。[19]在2023日本东京半导体展上，晶盛机电展示8英寸碳化硅衬底片和8英寸外延生长设备，引发行业关注。[7]
2024年1月，晶盛机电入选浙江省第一批雄鹰企业。[15]经多年发展，晶盛机电拥有国家级博士后科研工作站、国家企业技术中心、浙江省半导体设备企业研究院、浙江省半导体装备精密零部件高新技术企业研究开发中心、浙江省外国专家工作站、工业4.0方向的浙江省省级重点研究院、浙江省晶盛机电晶体生长装备研究院、浙江省半导体智能制造重点企业研究院、浙江省半导体材料生长加工装备重点企业研究院等研究平台。内部建立了4个研发中心，其中1个海外研发中心，还有10个专业研究所和2个专业实验室。[2]
组织架构
| 董事会 | |||
|---|---|---|---|
| 战略与投资委员会 | 审计委员会 | 提名委员会 | 薪酬与考核委员会 |
参考资料：[2]
管理层
职务姓名董事长,法定代表人,非独立董事曹建伟总裁,非独立董事何俊副总裁石刚副总裁,董事会秘书,财务总监陆晓雯独立董事周剑峰、杨德仁、赵骏、庞保平非独立董事邱敏秀、周子学
以上数据统计截至2024年3月：[20]
股权结构
序号股东名称股份类型持股数量（股）持股比例1绍兴上虞晶盛投资管理咨询有限公司流通A股620,635,52247.42%2香港中央结算有限公司流通A股109,394,7998.36%3邱敏秀流通A股、限售流通A股38,172,4202.92%4曹建伟流通A股,限售流通A股35,587,2662.72%5中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金流通A股13,607,9801.04%6全国社保基金一零一组合流通A股12,971,7010.99%7毛全林流通A股、限售流通A股10,636,4760.81%8浙江大晶创业投资有限公司流通A股9,335,2280.71%9中国建设银行股份有限公司-易方达环保主题灵活配置混合型证券投资基金流通A股9,142,3200.7%10何俊流通A股、限售流通A股8,470,1760.65%
以上数据统计截至2024年3月：[20]
主要业务
晶盛机电主营业务产品为应用于光伏和半导体集成电路产业上游晶体生产及加工设备，并延伸布局至蓝宝石材料、碳化硅材料以及相关产业链核心的辅材耗材，业务涉及半导体、光伏设备领域以及半导体材料细分领域的蓝宝石材料和碳化硅材料等。[2]
设备
| 图片 | 设备类型 | 名称 | 产品简介 |
|---|---|---|---|
 | 功率半导体及先进制程装备 | 8英寸单片式硅外延生长炉 | 可兼容6英寸、8英寸硅晶片生长，结构可靠稳定，有较好的膜厚和电阻均匀性 |
 | 功率半导体及先进制程装备 | 6英寸碳化硅外延炉 | 可实现生长过程自动化控制，有较好的薄膜均匀性，兼容4英寸、6英寸外延片生长，结构简单，单片成本低 |
 | 功率半导体及先进制程装备 | 6英寸立式碳化硅外延炉 | 可实现对4英寸、6英寸晶圆外延的生长，成膜质量优，工艺稳定性好，生产效率有效提升 |
 | 功率半导体及先进制程装备 | 6英寸双片式碳化硅外延炉 | 该设备与单片设备相比，单台产能增加70%，单片运营成本降幅可达30%以上 |
 | 半导体材料装备 | 长晶设备 | 晶盛机电研发的晶体生长设备，满足大尺寸晶体生长 |
 | 半导体材料装备 | 滚圆设备 | 应用于外圆滚磨的专用加工设备，可加工硅棒直径兼容8英寸和12英寸 |
 | 半导体材料装备 | 切断设备 | 用于硅棒截断的专用加工设备，可加工硅棒直径兼容8英寸和12英寸，可取样片、锥头截断、晶段截断 |
 | 半导体材料装备 | 线切设备 | 光伏硅、半导体硅、蓝宝石三大领域的晶体切片设备，满足4英寸至12英寸多规格的高质量切片需求 |
 | 光伏设备 | 长晶设备 | 晶盛机电研发的晶体生长设备，满足大尺寸晶体生长 |
 | 光伏设备 | 截断设备 | 应用于单晶硅圆棒的截断、取样片、去头尾的专用切割设备 |
 | 光伏设备 | 开方设备 | 应用于单晶硅圆棒开方的专用切割设备 |
 | 光伏设备 | 磨削设备 | 应用于单晶硅棒磨削加工的自动化设备，可同时兼容硅棒旋转倒圆和平推倒角加工方式 |
以上仅举例：[21][22][23]
材料
| 图片 | 名称 | 简介 |
|---|---|---|
 | 碳化硅 | 第三代半导体材料 晶盛机电掌握8英寸碳化硅晶体生长技术，具备自主可控的大尺寸碳化硅晶体生长和加工技术 |
 | 金刚石 | 第四代半导体材料 |
 | 蓝宝石 | 晶盛机电掌握大尺寸蓝宝石晶体生长工艺和技术 |
 | 石英坩埚 | 晶盛机电掌握大尺寸半导体级石英坩埚生产技术 |
 | 金刚线 | 晶盛机电拥有柔性定制和规模生产的能力 |
参考资料：[24]
智能工厂解决方案
晶盛机电以材料生产及加工装备链为主线，实现各装备之间的数字化和智能化联通，向客户提供精益制造+数字化+AI大数据的解决方案。[25]
经营情况
| 年份 | 2022年报 | 2021年报 | 2020年报 | 2019年报 |
|---|---|---|---|---|
| 营业总收入 | 106.38亿 | 59.61亿 | 38.11亿 | 31.1亿 |
| 营业总收入同比（%） | 78.45 | 56.44 | 22.54 | 22.64 |
| 利润总额 | 34.19亿 | 19.84亿 | 9.92亿 | 7.21亿 |
| 净利润 | 30.78亿 | 17.28亿 | 8.52亿 | 6.24亿 |
| 净利润同比（%） | 78.09 | 102.89 | 36.5 | 9.79 |
| 资产总计 | 288.87亿 | 168.84亿 | 104.98亿 | 78.63亿 |
| 资产总计同比（%） | 71.09 | 60.83 | 33.52 | 24.11 |
参考资料：[10]
愿景
科技之晶 盛誉天下[26]
使命
打造半导体材料装备领先企业 发展绿色智能高科技制造产业[26]
价值观
坦诚乐观 忠诚奉献 奋斗为本
成就伙伴 开拓创新 共铸辉煌[26]
社会责任
晶盛机电在上虞博文小学设立“晶盛机电”奖教奖学金，并连续三年向校方捐赠20万元。此外，截至2024年3月，晶盛机电累积向浙江大学教育基金会捐赠3100万。[27]
获得荣誉
时间颁发机构获得荣誉2026年4月10日中国企业评价协会2025新经济企业TOP500第193位[28]2026年3月24日中国企业改革与发展研究会、中国合作贸易企业协会2025中国企业信用500强第75位[29]2026年2月9日国家知识产权局国家知识产权示范企业创建对象[30]2026年2月5日胡润研究院位居2025胡润中国500强第298位[31]2025年12月12日中国企业评价协会位居2025科创企业创新力TOP500第275位[32]2025年12月5日浙江省工商联、浙商总会2025浙江省制造业民营企业200强[33]2025年12月5日浙江省工商联、浙商总会2025浙江省民营企业研发投入200家[33]2025年12月5日浙江省工商联、浙商总会2025浙江省民营企业200强[33]2025年12月4日中国机械工业企业管理协会2025年世界一流机械企业第298位[34][35]2025年12月4日中国机械工业企业管理协会2025年中国机械500强第61位[34][35]2025年12月4日中国能源报、中国能源经济研究院位居2025中国能源企业500强第206位[36][37]2025年10月17日华顿经济研究院位居2025年中国上市公司百强排行榜第270位[38]2025年10月17日中国企业评价协会、中国信息通信研究院[39]位居2025数字经济企业TOP500第215位[40]2025年10月15日浙江省企业联合会、浙江省企业家协会、浙江省工业经济联合会位居2025浙江省制造业百强企业第92位[41]2025年9月29日《浙商》杂志位居2025浙商全国500强第122位[42]2025年9月27日-位居2025全球新能源企业500强第125位[43]2025年9月26日-位居2025民营企业研发投入500家榜单第193位[44]2025年9月26日-位居2025民营企业发明专利500家榜单第386位[45]2025年3月3日中国企业改革与发展研究会、中国合作贸易企业协会位居2024中国企业信用500强第184位[46]2025年3月3日中国企业改革与发展研究会、中国合作贸易企业协会位居2024中国上市公司信用500强第153位[47]2025年3月3日中国企业改革与发展研究会、中国合作贸易企业协会2024中国民营企业信用100强第50位[46]2025年3月3日中国企业改革与发展研究会、中国合作贸易企业协会位居2024中国制造业企业信用100强第68位[47]2025年2月26日中国企业评价协会位居2024新经济企业TOP 500第119位[48]2025年2月25日胡润研究院位居2024胡润中国500强第253位[49]2025年1月中国能源经济研究院位居2024中国能源企业500强榜单第214位[50]2024年10月24日中国企业评价协会、中国信息通信研究院位居2023数字经济企业TOP500第162位[51]2024年10月中华全国工商业联合会位列2024中国制造业民营企业500强榜单第433位[52]2024年9月23日中华全国工商业联合会位列2024民营企业研发投入500家榜单第193位[53][54]2024年9月20日中国企业联合会、中国企业家协会位列2024中国制造业企业500强榜单第487位[55]2024年9月19日浙江省企业联合会、浙江省企业家协会、浙江省工业经济联合会位居2024浙江省成长性最快百强企业榜单第4位[56]2024年9月19日浙江省企业联合会、浙江省企业家协会、浙江省工业经济联合会位居2024浙江省制造业百强企业榜单第92位[56]2024年8月13日胡润研究院位列2023胡润中国500强第189位[57][58]2024年1月中国企业评价协会位居2023新经济企业TOP500第66位[59]2024年1月21日中国企业改革与发展研究会、中国合作贸易企业协会位居2023中国企业信用500强排行榜第162位[60]2023年12月浙江省制造业高质量发展领导小组浙江省第一批雄鹰企业[15]2023年11月16日中国能源经济研究院位居2023中国能源企业（集团）500强榜单第269位[61]2023年10月28日贵州省人民政府、中国机械工业企业管理协会位居2023年中国机械500强榜单第37位[62]2023年10月26日中国企业评价协会、中国信息通信研究院2022年度数字经济企业TOP500第178位[63]2023年3月30日2222中国新经济企业500强发布会位列《2022中国新经济企业500强榜单》第80名[14]2023年1月13日胡润研究院排名《2022胡润中国500强》第117位[13]2022年12月2日中国能源经济研究院位居2022中国能源企业（集团）500强榜单第320位[64]2022年10月13日中华全国工商业联合会位居2022民营企业发明专利500家第488位[65]2022年5月互联网周刊2022光伏企业发展力TOP30[12]2021年12月20日中国机械工业企业管理协会、机械工业信息研究院位居2021年中国机械500强榜单第153位[66]2021年9月绍兴市科技创新大会入选"2020年度绍兴市企业研发投入十强"名单[11]2021年9月浙江省企业联合会、浙江省企业家协会、浙江省工业经济联合会2021浙江省成长性最快百强企业榜单第42位[67]2021年6月福布斯中国最具创新力企业榜[68]2021年1月16日2021中国企业信用发展论坛暨第十二届诚信公益盛典位居2020中国上市公司信用500强榜单第310位[69]2021年1月-位列2020中国上市公司500强第499位[70]2021年福布斯中国2021福布斯中国最具创新力企业50强[17]2020年12月-位列2020中国制造业上市公司价值500强榜单第264位[71]2020年11月25日胡润研究院以425亿元人民币排名《2020世茂海峡•胡润中国500强民营企业》第260位[72]2020年10月22日第九届全球新能源企业500强峰会位列《2019全球新能源企业500强榜单》339名[73]2020年9月浙江省人民政府2019年浙江省人民政府质量管理创新奖[16]--第三批制造业单项冠军产品[17]--国家企业标准“领跑者”[17]--浙江省科技进步一等奖[17]--连续六年利税蝉联中国电子专用设备行业首位[17]--连续3届中国创业板最具成长性上市公司十强[17]--中国创业板上市公司价值50强[17]--浙江省“专精特新”企业[17]--浙江省质量管理创新奖[17]--浙江省第三批“雄鹰行动”培育企业[17]--浙江省第四批创新型领军企业[17]--浙江省领军型创新创业团队[17]--“浙江制造”认证[17]--浙江省高新技术企业创新能力百强[17]
相关事件
2022年4月15日，晶盛机电旗下浙江美晶新材料有限公司因未对安全设施进行经常性维护保养，被绍兴市上虞区应急管理局处以了7.9万元的罚款。[74]
参考资料 74
- 浙江晶盛机电股份有限公司 — 爱企查
- 浙江晶盛机电股份有限公司2022 年年度报告 — 官网
- 业绩惊人“八连增”！“卖铲人”晶盛机电：打破国外垄断重构产业格局！ — 人民资讯
- 浙江晶盛机电股份有限公司招股书 — 国信证券股份有限公司
- 信息披露公告 — 深圳证券交易所
- 晶盛机电召开新产品发布会 新品已获大单 — 新浪财经
- 碳化硅研发迈入“8”时代!晶盛机电突破第三代半导体代表材料“卡脖子”技术 — 绍兴市科学技术局
- 银川经济技术开发区管理委员会 — 银川经开区管委会
- 晶盛机电：公司8-12英寸大硅片设备基本实现国产化并批量交付 — 界面新闻
- 浙江晶盛机电股份有限公司 — 天眼查
- 重磅名单!绍兴这些单位和项目入选 — 微信公众平台
- 2022光伏企业发展力TOP30 — 互联网周刊
- 胡润百富 - 榜单 — 胡润百富
- 2022中国新经济企业500强(搜索版) — 新浪财经
- 晶盛机电入选浙江省第一批雄鹰企业名单 — 腾讯网
- 浙江省人民政府关于表彰2019年省政府质量奖获奖组织的通报 — 浙江省人民政府
- 荣誉 — 研发实力
- 晶盛机电与西部超导签订战略合作协议 — 界面新闻
- 晶盛机电与埃斯顿达成战略合作 — 今日头条-证券时报e公司
- 浙江晶盛机电股份有限公司 — 爱企查
- 设备 — 晶盛机电
- 半导体材料装备 — 晶盛机电
- 光伏 — 晶盛机电
- 材料 — 晶盛机电
- 智能工厂解决方案 — 官网
- 关于晶盛 — 官网
- 关于晶盛 — 官网
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- 晶盛机电 — 新浪财经