路新春

路新春，男，清华大学教授，^[1]博士生导师，华海清科股份有限公司董事长、首席科学家。^[2][3]他的学术生涯始于吉林大学，后在中国科学院金属研究所获得工学博士学位。他的研究领域主要集中在薄膜制备与表征，纳米结构材料的微观力学性能及其微观摩擦学研究，化学机械抛光、腐蚀磨损研究，材料摩擦磨损研究。他的研究成果得到了广泛的认可，包括2008年度国家杰出青年科学基金，以及多项科技进步奖。^[4][5]

路新春于1988年7月在吉林大学获得工学学士学位，1991年1月在吉林大学获得工学硕士学位，1994年3月在中国科学院金属研究所获得工学博士学位。

路新春在1994年4月进入清华大学工作，历任清华大学精密仪器与机械学系副教授、教授，2013年后为清华大学机械工程系教授、首席研究员。他还曾在香港城市大学、瑞士电子与微技术中心和阿拉斯加大学担任访问学者和助理教授。

2014年7月，他兼任清华大学天津高端装备研究院副院长。

2020年，他离岗创业，现任华海清科股份有限公司董事长、首席科学家。

2021年10月，由路新春教授带领清华大学成果转化项目公司华海清科研发的首台12英寸超精密晶圆减薄机（Versatile-GP300）正式出机，发往国内某集成电路龙头企业。该装备是路新春教授团队与华海清科股份有限公司继解决我国集成电路抛光装备“卡脖子”问题后的又一突破性成果，将应用于3D IC制造、先进封装等芯片制造大生产线，满足12英寸晶圆超精密减薄工艺需求。

路新春教授的研究成果得到了广泛的认可，他曾获得多项科技进步奖，包括1998年1月“激光检测原子力/摩擦力显微镜的研制及应用”获国家教委科技进步二等奖，1997年12月“金属磨蚀机理研究”获中国科学院自然科学三等奖，2001年5月“纳米级薄膜润滑理论与实验研究”获中国高校自然科学一等奖，2001年“纳米润滑理论与实验研究”获国家自然科学二等奖，2000年2月“纳米级润滑膜厚度测量技术研究”获清华大学科研成果推广应用效益显著专项奖，1997年1月“清华之友”获优秀青年教师奖励金二等奖。2023年4月，他荣获全国五一劳动奖章。

路新春教授团队坚持认为，大学在解决当前出现的关键核心技术“卡脖子”问题上应当大有作为，且以产业报国为己任，积极推进科研成果转化，实现基础研究和产业需求纵向贯通。