片状氧化铝

片状氧化铝所属现代词，指的是一种基本上无团粒、粉末或碎片的新型片状氧化铝。

发

明人

塞尔斯Ｒ·锡伯特；爱特华Ｌ·格拉文;Jr.

地址

美国马省

概述

本发明提供一种基本上无团粒、粉末或碎片的新型片状氧化铝。本产品证实对用在微电子应用方面的基片的抛光非常有利，同时也揭示了制备这类产品的方法。

一种片状氧化铝粉，其特征在于主要由具有直径为３至２０微米的个别正面体片状氧化铝颗粒组成，它基本上没有团粒和细粒且所含片状氧化铝颗粒的片断小于５％。