氮化钽(Tantalum mononitride)是一种化工材料,分子式为TaN,分子量为194.95。用来制造精确片状电阻的材料,氮化钽电阻则可抵抗水汽的侵蚀。在制造集成电路的过程中,这些膜沉积在硅晶片的顶部,以形成薄膜表面贴装电阻。
物化性质
ε氮化钽为黑色六方结晶。相对密度为13.4,熔点为3090℃,显微硬度为1100kg/mm²,热导率为9.54W/(m·K),电阻率为128μΩ·cm。
δ氮化钽为黄绿色结晶,属氯化钠型结晶,相对密度为15.6。晶格常数为a=0.4336nm,c=0.4150nm。熔点为2950℃,显微硬度为3200kg/mm,转化点温度为17.8K。
贮存
合成
1、将金属钽粉用氮气或氨气在1100℃左右直接氮化制得;
2、以金属钽和氮气为原料制备氮化钽,反应式如下:2Ta+N2=2TaN。
用途
毒理学数据
主要的刺激性影响:
在皮肤上面:可能引起发炎
在眼睛上面:可能引起发炎
致敏作用:没有已知的敏化现象
生态学数据
通常对水是不危害的,若无政府许可,勿将材料排入周围环境。