晶体生长技术是一种制造单晶体的过程,可以通过固态、液态或气态的方式实现。实际中,大多数人工晶体是通过熔体或溶液的过冷或过饱和状态获得的。晶体生长技术涉及一系列特定的方法和技术,使得单晶体能够从液态或气态中结晶并成长[1]。
熔体生长法
熔体生长法是最常见的晶体生长方法之一,主要包括直拉法、坩埚下降法、区熔法和焰熔法等。
直拉法
直拉法是熔体生长单晶的一种重要方法,适合大规模生产大尺寸完美晶体。在加热的坩埚中,熔化的物料通过籽晶杆上的籽晶结晶,并随着籽晶的提升而成长为棒状单晶。坩埚可通过高频感应或电阻加热。半导体锗、硅、氧化物单晶如钇铝石榴石、钆镓石榴石、铌酸锂等均采用此方法生长。影响晶体品质的因素包括固液界面的温度梯度、生长速率、晶转速率以及熔体的流体效应等[2]。
坩埚下降法
坩埚下降法中,坩埚置于垂直炉内,分为高低温区,坩埚下降至低温区时开始结晶。坩埚底部通常设计为尖锥形或带细颈,以利于籽晶选择。晶体形状与坩埚形状一致,大型碱卤化合物及氟化物等光学晶体常采用此方法生长。
区熔法
区熔法通过狭窄高温区使多晶材料棒形成窄熔区,通过移动材料棒或加热体使其结晶,最终形成单晶棒。该方法可提高单晶材料纯度并均匀掺杂。区熔技术包括水平法和浮区熔炼法。
焰熔法
溶液生长法
水溶液法
水热法
助熔剂法
气相生长法
气相生长法包括升华法和化学气相输运法。
升华法
升华法是指固体在升温后直接转化为气体,随后在低温区凝结成晶体,不经液体阶段。适用于砷、磷等元素及其化合物,如ZnS、CdS等。
化学气相输运
外延
外延技术,也称取向附生,是指在单晶片上再生长一层与原晶体结构匹配的单晶薄层。外延可分为同质外延和异质外延。外延生长广泛应用于半导体材料研究和磁泡材料发展。
参考资料 3
- 上海科研团队研发通用晶体生长技术:生长速率提高4倍,让毫米级“碎钻”长成厘米级“完美钻石” — 央广网新闻
- 我国科学家研发新型通用晶体生长技术 — 新华社
- 晶体生长方法简介 — 人人文库