《微细加工技术》是由王振龙编著,国防工业出版社于2005年出版的专业书籍。该书旨在介绍微机械与微细加工技术的基础知识以及各种微细加工方法的基本原理和实际应用。[1]
内容简介
书中涵盖了微型机械与微细加工的基础知识、微细切削加工、半导体材料的微细加工技术、微细电加工等微细特种加工技术、高能束流微细特种加工技术、纳米加工技术、生长型微细加工技术和典型微机械产品的微细加工技术等内容。该书不仅适用于研究生和高年级本科生的学习,也对从事微细加工研究的教师和工程技术人员具有重要参考价值,同时还是相关人员了解最新微细加工技术的重要参考资料。[2]