廖广兰

廖广兰，男，博士，教授，博士生导师。2003年毕业于华中科技大学机械制造专业，获工学博士学位。近年来主要从事微纳制造、微电子封装、测试等方面的教学与科研工作。廖广兰教授主持了多个项目，还作为主要骨干参与完成了多项973、863、国家自然科学基金项目的研究。廖广兰教授申请了12项国家发明专利，其中3项已被授权。他发表了80余篇学术论文，其中50余篇被SCI、EI收录。

廖广兰教授获得多项荣誉与奖励，包括：

1. 2009年参与国家级教学团队《机械学科测控课程群教学团队》。

2. 2011年入选教育部新世纪优秀人才支持计划。

3. 2012年获得华中科技大学第三届研究生导师“治学楷模”师表奖。

4. 2012年获得国家自然科学基金优秀青年基金。

5. 2012年被聘为华中学者“晨星岗”。

6. 2013年作为核心人员参加“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队。

国家自然科学基金委优秀青年基金“仿生微纳制造与应用研究”(2013-2015)。

国家自然科学基金面上项目“染料敏化太阳能电池光阳极结构的仿生设计与可控制备”(2012-2015)。

国家自然科学基金面上项目“热/声激励的高密度超细间距倒装焊缺陷诊断方法研究”(2010-2012)。

国家自然科学基金青年基金“MEMS封装失效的诊断与预测方法研究”(2005-2007)。

国家自然科学基金“热/声激励的高密度超细间距倒装焊缺陷诊断方法研究”。

国家自然科学基金“MEMS封装失效的诊断与预测方法研究”。

973课题“高密度倒装键合中的多物理量协同控制机制与实现”。

国际合作“Measuring and error analysis algorithm of the optics device with free form curved surface”。

湖北省自然科学基金"仿蝴蝶磷翅的染料敏化太阳能电池光阳极结构的制备"。

廖广兰教授发表了多篇具有代表性的学术论文，包括：

1. Wenjun Sheng, Bo Sun, Tielin Shi, Xianhua Tan, Zhengchun Peng, Guanglan Liao*. Quantum Dot-Sensitized Hierarchical Micro/Nanowire Architecture for Photoelectrochemical Water Splitting. ACS Nano. 2014, 8(7): 7163-7169。

2. Guanglan Liao, Tielin Shi, Xiaohui Lin, Ziwen Ma. Effect of surface characteristic on room-temperature silicon direct bonding. Sensors and Actuators A-Physical. 2010, 158: 335-341。

3. Xianhua Tan, Tielin Shi, Yang Gao, Wenjun Sheng, Bo Sun and Guanglan Liao*. Fabrication of micro/nanotubes by mask-based diffraction lithography. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2014, 24(5): 055006。

4. Xuefeng Yang, Zhengchun Peng, Haibo Zuo, Tielin Shi, Guanglan Liao*. Using hierarchy architecture of Morph butterfly scales for chemical sensing: Experiment and modeling. Sensors And Actuators A-Physical. 2011,167: 367-373。

5. Peng P, Liao GL*, Shi TL, Tang ZR, Gao Y. Molecular dynamic simulations of nanoindentation in aluminum thin film on silicon substrate. Applied Surface Science, 2010, 256, 6284-6290。

具体专利包括：

1. 一种硅湿法刻蚀工艺ZL 200510019052.4。

2. 一种三维微型模具的制造方法ZL 200810047229.5。

3. 一种短波长光辅助硅片直接键合方法ZL 200810047324.5。

4. 一种芯片焊点缺陷在线检测方法及装置ZL 201010160537.6。

5. 一种仿蝴蝶磷翅分级多层非对称微纳结构的制备方法ZL 201010160958.9。

6. 一种仿生微纳结构制备方法ZL 201010161272.1。

7. 用于制造太阳能电池光阳极的方法及其产品ZL 201110421633.6。

8. 一种仿壁虎脚结构材料制造工艺ZL 201210168024.9。

9. 一种太阳能电池光阳极的微纳复合结构及其制备方法ZL 201210179386.8。

10. 一种磁场辅助的硅微纳加工工艺及装备ZL 201210192208.9。

11. 一种扩散焊制备多层非晶合金与晶态金属复合结构的方法ZL 201210388962.X。

12. 一种微米管制造工艺ZL 201310025430.4。